发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH1167764(A) 申请公布日期 1999.03.09
申请号 JP19970214835 申请日期 1997.08.08
申请人 NEC YAMAGUCHI LTD 发明人 SAKAMOTO KENICHI
分类号 H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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