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发明名称
ESTIMATING METHOD OF VIRTUAL WIRING LENGTH
摘要
申请公布号
JPH1167922(A)
申请公布日期
1999.03.09
申请号
JP19970228243
申请日期
1997.08.25
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
ITO TOSHIAKI
分类号
H01L21/82;G06F17/50;(IPC1-7):H01L21/82
主分类号
H01L21/82
代理机构
代理人
主权项
地址
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