| 发明名称 |
PRODUCTION OF SILICON MICROSENSOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1168119(A) |
申请公布日期 |
1999.03.09 |
| 申请号 |
JP19970216402 |
申请日期 |
1997.08.11 |
| 申请人 |
NEC CORP |
发明人 |
KANZAKI MASAYUKI;SANO MASAHIKO |
| 分类号 |
H01L29/84;H01L21/306;H01L27/14;H01L37/00;(IPC1-7):H01L29/84 |
主分类号 |
H01L29/84 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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