发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH1167771(A) 申请公布日期 1999.03.09
申请号 JP19970225151 申请日期 1997.08.21
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 KOBAYASHI HAJIME
分类号 H01L21/60;H01L21/321;(IPC1-7):H01L21/321 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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