发明名称 SEMICONDUCTOR PRESSURE SENSOR AND ITS PRODUCTION
摘要
申请公布号 JPH1168120(A) 申请公布日期 1999.03.09
申请号 JP19970226521 申请日期 1997.08.22
申请人 NIPPON SEIKI CO LTD 发明人 NAITO KAZUYA
分类号 G01L9/04;G01L9/00;H01L29/84;(IPC1-7):H01L29/84 主分类号 G01L9/04
代理机构 代理人
主权项
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