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发明名称
FILM TRANSISTOR AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号
JPH1168115(A)
申请公布日期
1999.03.09
申请号
JP19980038553
申请日期
1998.02.20
申请人
LG SEMICON CO LTD
发明人
KIM BYUNG-KOOK
分类号
H01L21/336;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/786
主分类号
H01L21/336
代理机构
代理人
主权项
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