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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH1168095(A) 申请公布日期 1999.03.09
申请号 JP19970216765 申请日期 1997.08.11
申请人 FUJITSU LTD 发明人 MIHARA SATOSHI
分类号 H01L21/302;C23F1/02;H01L21/28;H01L21/3065;H01L21/311;H01L21/3205;H01L21/3213;H01L23/52;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78;H01L21/306;H01L21/320 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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