| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE AND FABRICATION THEREOF |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH1168053(A) |
申请公布日期 |
1999.03.09 |
| 申请号 |
JP19970228182 |
申请日期 |
1997.08.25 |
| 申请人 |
NIKON CORP |
发明人 |
NARUI TEI;SHODA MASAHIRO;AKAGAWA KEIICHI |
| 分类号 |
H01L21/761;H01L27/08;(IPC1-7):H01L27/08 |
主分类号 |
H01L21/761 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
