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发明名称 WAFER PROBER
摘要
申请公布号 JPH1167854(A) 申请公布日期 1999.03.09
申请号 JP19970227512 申请日期 1997.08.08
申请人 TEXAS INSTR JAPAN LTD 发明人 KAWAMATA NOBUHIRO;ISHIBIKI NORIO;ARAI TATSUYA
分类号 G01R31/26;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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