发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH1167783(A) 申请公布日期 1999.03.09
申请号 JP19970223640 申请日期 1997.08.20
申请人 NEC CORP 发明人 OKAMOTO TETSUMASA
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L29/732;(IPC1-7):H01L21/331 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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