| 发明名称 |
MANUFACTURE FOR BA-K-BI-O BASE SUPERCONDUCTIVE THIN FILM |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH1168181(A) |
申请公布日期 |
1999.03.09 |
| 申请号 |
JP19970221465 |
申请日期 |
1997.08.18 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
WADA YUKIHIKO;KURODA KENICHI;TAKAMI TETSUYA;YOSHIDA YUKIHISA |
| 分类号 |
C01G1/00;C01G29/00;C23C14/08;C30B29/22;H01B12/02;H01L39/24;(IPC1-7):H01L39/24 |
主分类号 |
C01G1/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
