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发明名称 LIQUID-FILLING OR PUTTING IN/OUT METHOD AND DEVICE INTO FINE HOLLOW AND PLATING METHOD INTO THE FINE HOLLOW
摘要
申请公布号 JPH1167696(A) 申请公布日期 1999.03.09
申请号 JP19970237701 申请日期 1997.08.19
申请人 EBARA CORP 发明人 KOGURE NAOAKI
分类号 C23C18/31;C25D3/38;C25D5/48;C25D7/12;H01L21/288;(IPC1-7):H01L21/288 主分类号 C23C18/31
代理机构 代理人
主权项
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