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发明名称 METHOD AND DEVICE FOR REMOVING RESIST
摘要
申请公布号 JPH1167626(A) 申请公布日期 1999.03.09
申请号 JP19970217358 申请日期 1997.08.12
申请人 HITACHI LTD;NITTO DENKO CORP 发明人 SHIRAI SEIICHIRO;ONOZUKA TOSHIHIKO;NOISSHIKI TAKAYUKI;SAKAI SATORU;SASAJIMA KATSUHIRO;TOYODA HIDESHI;NAMIKAWA AKIRA
分类号 C09J7/00;C09J5/00;G03F7/34;G03F7/42;H01L21/027;H01L21/311;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 C09J7/00
代理机构 代理人
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