发明名称 EXTERNAL BURNING SYSTEM, EXTERNAL BURNING, PROCESSING SYSTEM WITH THE EXTERNAL BURNING SYSTEM AND PROCESSING USING THE EXTERNAL BURNING SYSTEM
摘要
申请公布号 JPH1167750(A) 申请公布日期 1999.03.09
申请号 JP19970242046 申请日期 1997.08.22
申请人 KOKUSAI ELECTRIC CO LTD 发明人 SAKAMOTO ICHIRO
分类号 H01L21/31;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/31 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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