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发明名称
摘要
申请公布号 JP2867557(B2) 申请公布日期 1999.03.08
申请号 JP19900047952 申请日期 1990.02.28
申请人 FUJITSU KK 发明人 NAKAMURA TOSHIHIRO
分类号 H01L29/812;H01L21/22;H01L21/338;H01L29/778;(IPC1-7):H01L29/778 主分类号 H01L29/812
代理机构 代理人
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