发明名称
摘要
申请公布号 JP2867511(B2) 申请公布日期 1999.03.08
申请号 JP19890326319 申请日期 1989.12.15
申请人 MATSUSHITA DENKI SANGYO KK 发明人 NAKABAYASHI TAKASHI
分类号 H01L21/336;H01L21/8236;H01L21/8238;H01L27/088;H01L27/092;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78;H01L21/823 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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