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发明名称
摘要
申请公布号
JP2867511(B2)
申请公布日期
1999.03.08
申请号
JP19890326319
申请日期
1989.12.15
申请人
MATSUSHITA DENKI SANGYO KK
发明人
NAKABAYASHI TAKASHI
分类号
H01L21/336;H01L21/8236;H01L21/8238;H01L27/088;H01L27/092;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78;H01L21/823
主分类号
H01L21/336
代理机构
代理人
主权项
地址
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