发明名称 PRODUCTION OF SILICON OXIDE FILM
摘要
申请公布号 JPH1161408(A) 申请公布日期 1999.03.05
申请号 JP19970232029 申请日期 1997.08.28
申请人 UNITIKA LTD 发明人 SATO MITSUNOBU;TOKUSAWA TARO
分类号 C23C16/42;(IPC1-7):C23C16/42 主分类号 C23C16/42
代理机构 代理人
主权项
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