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经营范围
发明名称
PRODUCTION OF SILICON OXIDE FILM
摘要
申请公布号
JPH1161408(A)
申请公布日期
1999.03.05
申请号
JP19970232029
申请日期
1997.08.28
申请人
UNITIKA LTD
发明人
SATO MITSUNOBU;TOKUSAWA TARO
分类号
C23C16/42;(IPC1-7):C23C16/42
主分类号
C23C16/42
代理机构
代理人
主权项
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