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发明名称 GAS FEEDER
摘要
申请公布号 JPH1163398(A) 申请公布日期 1999.03.05
申请号 JP19970225842 申请日期 1997.08.07
申请人 TOKYO ELECTRON LTD;MOTOYAMA SEISAKUSHO:KK 发明人 KOMINO MITSUAKI;UCHISAWA OSAMU;CHIBA YASUHIRO
分类号 F17C13/02;(IPC1-7):F17C13/02 主分类号 F17C13/02
代理机构 代理人
主权项
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