发明名称 |
ELECTRODE PLATE AND CURRENT-CARRYING INSPECTING DEVICE USING THE SAME |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH1164388(A) |
申请公布日期 |
1999.03.05 |
申请号 |
JP19970225323 |
申请日期 |
1997.08.21 |
申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
MIURA KAZUMA;SERIZAWA KOJI;ARIMA HIDEO;HASEBE AKIO;YAMAMOTO KENICHI;MORINAGA KENICHIRO |
分类号 |
G01R1/073;H01L21/326;H01L21/66;H05K3/32;H05K3/40;(IPC1-7):G01R1/073 |
主分类号 |
G01R1/073 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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