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发明名称 PROBE HEAD
摘要
申请公布号 JPH1164382(A) 申请公布日期 1999.03.05
申请号 JP19970217875 申请日期 1997.08.12
申请人 MITSUBISHI MATERIALS CORP 发明人 TACHIKAWA NOBUYOSHI;IWAMOTO TAKAFUMI;YOSHIDA HIDEAKI
分类号 G01R1/073;H01L21/66;(IPC1-7):G01R1/073 主分类号 G01R1/073
代理机构 代理人
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