| 发明名称 |
FORMATION OF MULTI-STEP PROFILE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1161447(A) |
申请公布日期 |
1999.03.05 |
| 申请号 |
JP19970218528 |
申请日期 |
1997.08.13 |
| 申请人 |
CITIZEN WATCH CO LTD |
发明人 |
KIKAWA KEISUKE;FUKUSHIMA NOBUHITO;YAMAMOTO IZUMI |
| 分类号 |
C23C28/00;C23F4/00;G11B5/60;G11B21/21;H01L21/027;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):C23F4/00 |
主分类号 |
C23C28/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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