| 发明名称 |
MAGNETRON PLASMA CVD DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1161416(A) |
申请公布日期 |
1999.03.05 |
| 申请号 |
JP19970224816 |
申请日期 |
1997.08.21 |
| 申请人 |
ULVAC JAPAN LTD |
发明人 |
ZENITANI TOSHIHIRO;HIBINO NAOKI;INAGAWA KONOSUKE;OTA YOSHIFUMI;SHIMIZU AKIRA |
| 分类号 |
C23C14/35;C23C16/50;H01L21/203;H01L21/205;H01L21/285;H01L21/31;(IPC1-7):C23C16/50 |
主分类号 |
C23C14/35 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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