发明名称 SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH1161405(A) 申请公布日期 1999.03.05
申请号 JP19970214819 申请日期 1997.08.08
申请人 SONY CORP 发明人 ABE ATSUHIRO
分类号 C23C14/35;C23C14/56;G11B5/85;G11B5/851;(IPC1-7):C23C14/56 主分类号 C23C14/35
代理机构 代理人
主权项
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