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经营范围
发明名称
SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH1161405(A)
申请公布日期
1999.03.05
申请号
JP19970214819
申请日期
1997.08.08
申请人
SONY CORP
发明人
ABE ATSUHIRO
分类号
C23C14/35;C23C14/56;G11B5/85;G11B5/851;(IPC1-7):C23C14/56
主分类号
C23C14/35
代理机构
代理人
主权项
地址
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