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发明名称 LOCAL COOLING DEVICE FOR CLEAN ROOM
摘要
申请公布号 JPH1163577(A) 申请公布日期 1999.03.05
申请号 JP19970219511 申请日期 1997.08.14
申请人 TAKASAGO THERMAL ENG CO LTD;MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 KITAGAWA KAZUYUKI;SHIMIZU KOJI;YOKOGAWA TAKAAKI;HAMA NOBORU;OTSUBO TOSHIAKI
分类号 G01R31/28;F24F5/00;F24F7/06;(IPC1-7):F24F5/00 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
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