| 发明名称 |
METHOD FOR MEASURING OH RADICAL CONCENTRATION OF QUARTZ GLASS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1164223(A) |
申请公布日期 |
1999.03.05 |
| 申请号 |
JP19970228556 |
申请日期 |
1997.08.25 |
| 申请人 |
NIKON CORP |
发明人 |
FUJIWARA MASASHI;KOMINE NORIO;JINBO HIROKI |
| 分类号 |
G01J3/44;G01N21/65;(IPC1-7):G01N21/65 |
主分类号 |
G01J3/44 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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