| 发明名称 |
METHOD AND EQUIPMENT FOR PRODUCING SILICON WAFER QUANTITATIVELY CONTAMINATED SAMPLE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1164180(A) |
申请公布日期 |
1999.03.05 |
| 申请号 |
JP19970244835 |
申请日期 |
1997.08.27 |
| 申请人 |
SHIN ETSU HANDOTAI CO LTD |
发明人 |
TAKANASHI KAZUHITO;MIZUNO MICHIHIKO |
| 分类号 |
G01N1/00;G01N1/28;H01L21/66;(IPC1-7):G01N1/00 |
主分类号 |
G01N1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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