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发明名称 EXTERNAL APPEARANCE INSPECTION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH1163951(A) 申请公布日期 1999.03.05
申请号 JP19970223230 申请日期 1997.08.20
申请人 SOUEI TSUSHO KK 发明人 HASHI ICHIROU
分类号 G01B11/24;G01B11/245;G01N21/88;G01N21/952;H01L23/02;(IPC1-7):G01B11/24 主分类号 G01B11/24
代理机构 代理人
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