发明名称 SYSTEM FOR DETECTING MALFUNCTION DUE TO DIFFERENCE BETWEEN INDIVIDUAL PARTS
摘要
申请公布号 JPH1164451(A) 申请公布日期 1999.03.05
申请号 JP19970217429 申请日期 1997.08.12
申请人 NEC CORP 发明人 SUZUKI JUN
分类号 G01R31/28;G06F17/50;H01L21/82;(IPC1-7):G01R31/28 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
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