| 摘要 |
<p>Verfahren und Anordnung zur Versorgung mehrerer Elektroden für Plasmaprozesse mit Wechselspannungen vorbestimmter Phasenlage. Erfindungsgemäß wird deren Phasenlage geregelt. Die an den Elektroden (2, 3) anliegenden Spannungen können direkt an den Elektroden über Spannungsteiler (8, 9; 10, 11) abgegriffen werden. Die Sollwerte können unabhängig voneinander einstellbar, außerdem durch Regelsysteme oder eine Modulationsschaltung vorgegeben sein. Die Anordnung kann zur Regelung anderer elektrischer Parameter, z.B. des Bias-UDC-Potentials, verwendet werden.</p> |
