| 摘要 |
<p>Die vorliegende Erfindung betrifft eine Anordnung zur Übertragung von Strukturen auf eine zu strukturierende Schicht. Erfindungsgemäßt umfaßt die Anordnung zur Übertragung von Strukturen auf eine zur strukturierende Schicht eine strahlungsdurchlässige Schicht und eine strahlungsundurchlässige Schicht, wobei die strahlungsundurchlässige Schicht eine oder mehrere Strukturöffnungen aufweist, die in ihrer Form der zu übertragenden Struktur angepaßt sind. Die erfindungsgemäße Anordnung ist dadurch gekennzeichnet, daß eine Rahmenöffnung vorgesehen ist, welche die Strukturöffnungen umschließt.</p> |
