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发明名称 Ätzverfahren für eine leitende Doppelschicht-Struktur
摘要
申请公布号 DE69130787(D1) 申请公布日期 1999.03.04
申请号 DE19916030787 申请日期 1991.08.16
申请人 FUJITSU LTD., KAWASAKI, KANAGAWA, JP 发明人 IIZUKA, KATSUHIKO, KAWASAKI-SHI, KANAGAWA 213, JP
分类号 H01L21/302;H01L21/28;H01L21/3065;H01L21/3213;H01L29/423;H01L29/43;H01L29/49;(IPC1-7):H01L21/321 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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