METHOD AND DEVICE FOR DETERMINING A PARAMETER FOR A METALLIZATION BATH

摘要

Verfahren und Vorrichtung zur Ermittlung einer Kenngrösse für die reproduzierbare Herstellung erhöhter Kontaktmetallisierungen (24, 25) auf Anschlussflächen eines Substrats mittels Abscheidung eines Metallisierungsmaterials in einem Metallisierungsbad, wobei ein Testsubstrat mit mindestens zwei in definiertem Abstand benachbarten Anschlussflächen in das Metallisierungsbad (10) eingebracht wird und die Kenngrösse aus der Veränderung einer elektrischen Grösse infolge eines sich aus der Abscheidung des Metallisierungsmaterials zum Aufbau der Kontaktmetallisierungen (24, 25) auf den benachbarten Anschlussflächen ergebenden elektrischen Kontakts ermittelt wird.