| 发明名称 |
VAPOR PHASE GROWING DEVICE AND VAPOR PHASE GROWING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1160380(A) |
申请公布日期 |
1999.03.02 |
| 申请号 |
JP19970221221 |
申请日期 |
1997.08.04 |
| 申请人 |
TOKUYAMA TOSHIBA CERAMICS KK;TOSHIBA CERAMICS CO LTD |
发明人 |
TAKAMURA KATSUYUKI;KONO SHINICHI;OHASHI TADASHI |
| 分类号 |
C30B25/14;C30B29/06;H01L21/205;(IPC1-7):C30B29/06 |
主分类号 |
C30B25/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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