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发明名称 SUBSTRATE TREATING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH1157632(A) 申请公布日期 1999.03.02
申请号 JP19970232893 申请日期 1997.08.28
申请人 DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD 发明人 NIIHARA KAORU
分类号 B08B1/04;B08B7/04;G03F7/20;H01L21/304;(IPC1-7):B08B1/04 主分类号 B08B1/04
代理机构 代理人
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