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发明名称 SELECTIVE ETCHING OF SILICATE AND ETCHING COMPOSITION SUITABLE FOR THE METHOD
摘要
申请公布号 JPH1160275(A) 申请公布日期 1999.03.02
申请号 JP19980159678 申请日期 1998.06.08
申请人 INTERNATL BUSINESS MACH CORP <IBM> 发明人 RATH DAVID L;JAGANNATHAN RANGARAJAN;MCCULLOUGH KENNETH J;OKORN-SCHMIDT HARALD F;MADDEN KAREN P;POPE KEITH R
分类号 C03C15/00;C09K13/08;H01L21/308;H01L21/311;(IPC1-7):C03C15/00 主分类号 C03C15/00
代理机构 代理人
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