发明名称 |
LARGE-SIZED SYNTHETIC SILICA GLASS PLATE MATERIAL FOR HIGH-POWER VACUUM ULTRAVIOLET RADIATION AND ITS PRODUCTION |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH1160264(A) |
申请公布日期 |
1999.03.02 |
申请号 |
JP19970224450 |
申请日期 |
1997.08.07 |
申请人 |
SHINETSU QUARTZ PROD CO LTD |
发明人 |
OHASHI NOBUO;KURIYAMA MITSUHA;YAMAGATA SHIGERU;SUNADA SHIGEMASA |
分类号 |
C03B8/04;C03B19/09;C03B19/14;C03B20/00;C03C3/06;H01L21/304;(IPC1-7):C03C3/06 |
主分类号 |
C03B8/04 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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