发明名称 LARGE-SIZED SYNTHETIC SILICA GLASS PLATE MATERIAL FOR HIGH-POWER VACUUM ULTRAVIOLET RADIATION AND ITS PRODUCTION
摘要
申请公布号 JPH1160264(A) 申请公布日期 1999.03.02
申请号 JP19970224450 申请日期 1997.08.07
申请人 SHINETSU QUARTZ PROD CO LTD 发明人 OHASHI NOBUO;KURIYAMA MITSUHA;YAMAGATA SHIGERU;SUNADA SHIGEMASA
分类号 C03B8/04;C03B19/09;C03B19/14;C03B20/00;C03C3/06;H01L21/304;(IPC1-7):C03C3/06 主分类号 C03B8/04
代理机构 代理人
主权项
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