发明名称 POLISHING METHOD AND ITS DEVICE
摘要
申请公布号 JPH1158234(A) 申请公布日期 1999.03.02
申请号 JP19970220406 申请日期 1997.08.15
申请人 DISCO ABRASIVE SYST LTD 发明人 WITTENZOELLNER ELMER
分类号 B24B55/02;B24B55/03;H01L21/304;(IPC1-7):B24B55/03 主分类号 B24B55/02
代理机构 代理人
主权项
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