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经营范围
发明名称
POLISHING METHOD AND ITS DEVICE
摘要
申请公布号
JPH1158234(A)
申请公布日期
1999.03.02
申请号
JP19970220406
申请日期
1997.08.15
申请人
DISCO ABRASIVE SYST LTD
发明人
WITTENZOELLNER ELMER
分类号
B24B55/02;B24B55/03;H01L21/304;(IPC1-7):B24B55/03
主分类号
B24B55/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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