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发明名称 WAFER TEMPERATURE ADJUSTING EQUIPMENT AND ITS CONTROL METHOD
摘要
申请公布号 JPH1154393(A) 申请公布日期 1999.02.26
申请号 JP19970209169 申请日期 1997.08.04
申请人 KOMATSU LTD 发明人 KITAHASHI MASAMITSU
分类号 H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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