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发明名称 APPARATUS FOR COOLING GAS PIPING
摘要
申请公布号 JPH1154446(A) 申请公布日期 1999.02.26
申请号 JP19970211942 申请日期 1997.08.06
申请人 SONY CORP 发明人 NISHIMURA KOJI
分类号 H01L21/22;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/22 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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