| 发明名称 |
FORMATION OF BARRIER FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1154459(A) |
申请公布日期 |
1999.02.26 |
| 申请号 |
JP19970225711 |
申请日期 |
1997.08.07 |
| 申请人 |
ULVAC JAPAN LTD |
发明人 |
NAKAMURA KYUZO;KOMATSU TAKASHI;HIGUCHI YASUSHI;NAGANO KENZO;OTA YOSHIFUMI;TAGUMA YASUHIRO;IKEDA SATOSHI |
| 分类号 |
C23C16/34;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/285 |
主分类号 |
C23C16/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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