发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH1154505(A) 申请公布日期 1999.02.26
申请号 JP19970220011 申请日期 1997.07.30
申请人 MITSUMI ELECTRIC CO LTD 发明人 MOTOFUSA KEIICHIROU
分类号 H01L29/73;H01L21/318;H01L21/331;H01L29/732;(IPC1-7):H01L21/318 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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