| 发明名称 |
GAS RECOVERING DEVICE AND SOLID NUCLEAR REACTION GENERATED GAS ANALYZER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1151903(A) |
申请公布日期 |
1999.02.26 |
| 申请号 |
JP19970211915 |
申请日期 |
1997.08.06 |
| 申请人 |
MITSUBISHI HEAVY IND LTD |
发明人 |
ITO TAKEHIKO;IWAMURA YASUHIRO;GOTO NOBURO |
| 分类号 |
G01N27/62;C23C16/44;C23C16/455;H01L21/205;(IPC1-7):G01N27/62 |
主分类号 |
G01N27/62 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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