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经营范围
发明名称
SEMICONDUCTOR APPARATUS
摘要
申请公布号
JPH1152026(A)
申请公布日期
1999.02.26
申请号
JP19970214331
申请日期
1997.08.08
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
TANAKA SHINJI
分类号
G01R31/28;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):G01R31/28
主分类号
G01R31/28
代理机构
代理人
主权项
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