发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH1152020(A) 申请公布日期 1999.02.26
申请号 JP19970209435 申请日期 1997.08.04
申请人 NEC KYUSHU LTD 发明人 TAKIGUCHI KATSURO
分类号 G01R31/26;G01R31/28;H01L21/8234;H01L27/088;(IPC1-7):G01R31/28;H01L21/823 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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