发明名称 CRACK DETECTING METHOD AND CRACK DETECTOR
摘要
申请公布号 JPH1151913(A) 申请公布日期 1999.02.26
申请号 JP19970214256 申请日期 1997.08.08
申请人 NIKON CORP 发明人 SAKUMA SHIGERU;SHIOZAWA MASAKI
分类号 G01N29/14;G01H17/00;(IPC1-7):G01N29/14 主分类号 G01N29/14
代理机构 代理人
主权项
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