| 发明名称 |
METHOD FOR OBSERVING REACTION PROCESS THROUGH TRANSMISSION ELECTRONIC MICROSCOPE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1154578(A) |
申请公布日期 |
1999.02.26 |
| 申请号 |
JP19970213044 |
申请日期 |
1997.08.07 |
| 申请人 |
SHARP CORP |
发明人 |
MORI KAYOKO;YASUO FUMITOSHI;NAKANO AKIHIKO |
| 分类号 |
G01N1/28;G01R31/307;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
G01N1/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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