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发明名称
SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH1152017(A)
申请公布日期
1999.02.26
申请号
JP19970208024
申请日期
1997.08.01
申请人
SEIKO EPSON CORP
发明人
KURASHIMA KENJI;KUBOTA TOMOHIRO
分类号
G01R31/28;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):G01R31/28
主分类号
G01R31/28
代理机构
代理人
主权项
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