发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH1154752(A) 申请公布日期 1999.02.26
申请号 JP19970213141 申请日期 1997.08.07
申请人 NEC CORP 发明人 WAKABAYASHI HITOSHI
分类号 H01L21/28;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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