发明名称 MIM CAPACITOR AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH1154706(A) 申请公布日期 1999.02.26
申请号 JP19970211090 申请日期 1997.08.06
申请人 NEC CORP 发明人 AMAMIYA YASUSHI
分类号 H01G4/33;H01L21/02;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):H01L27/04 主分类号 H01G4/33
代理机构 代理人
主权项
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