发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH1154521(A) 申请公布日期 1999.02.26
申请号 JP19970209438 申请日期 1997.08.04
申请人 NEC CORP 发明人 UEDA YUTAKA
分类号 H01L29/417;H01L21/225;H01L21/331;H01L29/73;H01L29/732;(IPC1-7):H01L21/331 主分类号 H01L29/417
代理机构 代理人
主权项
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